。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展
，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點
。首先，分子泵要從小到大建立完整系列
，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵
、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要
。
6.干泵
國外干泵市場的不斷增長
，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)
、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展
。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵
，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵
，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求
，國外有多級羅茨真空泵
、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵
、渦旋式真空泵
、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa
，抽速從20m3/h～500m3/h
。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%
，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口
，其價格十分昂貴
。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵
，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點
。
